CIAT是專注于工業(yè)精密傳動(dòng)與智能定位系統(tǒng)的德國技術(shù)企業(yè),成立于1978年,總部位于慕尼黑,致力于為半導(dǎo)體制造、航空航天及高端機(jī)床領(lǐng)域提供高精度直線電機(jī)、納米級(jí)定位平臺(tái)及定制化解決方案。產(chǎn)品以亞微米級(jí)定位精度、抗干擾能力與工業(yè)級(jí)壽命為核心優(yōu)勢,廣泛應(yīng)用于晶圓光刻機(jī)定位、航天器姿態(tài)校準(zhǔn)及精密光學(xué)檢測設(shè)備場景。
核心產(chǎn)品系列:
工業(yè)精密傳動(dòng)系統(tǒng)
- CIAT-Linear系列直線電機(jī):適配半導(dǎo)體晶圓傳輸與激光切割設(shè)備,推力范圍50-2000 N,定位精度±50 nm,重復(fù)定位精度±20 nm,支持閉環(huán)控制與動(dòng)態(tài)補(bǔ)償,通過ISO 230-2機(jī)床精度標(biāo)準(zhǔn),防護(hù)等級(jí)IP65。
- CIAT-Rotary系列空心杯電機(jī):用于光學(xué)儀器旋轉(zhuǎn)臺(tái)與醫(yī)療設(shè)備驅(qū)動(dòng),轉(zhuǎn)速0-5000 RPM,扭矩波動(dòng)≤0.1%,慣性矩優(yōu)化設(shè)計(jì),通過MIL-STD-810G振動(dòng)測試,支持真空環(huán)境(10^-6 Torr)運(yùn)行。
智能定位解決方案
- CIAT-Stage系列納米定位平臺(tái):集成六自由度運(yùn)動(dòng)控制,行程范圍50-500 mm,定位分辨率0.1 nm,熱漂移率≤0.1 μm/°C,配備激光干涉儀實(shí)時(shí)反饋,通過SEMATECH半導(dǎo)體設(shè)備認(rèn)證。
- CIAT-Controller系列運(yùn)動(dòng)控制卡:支持多軸同步插補(bǔ)與自適應(yīng)PID算法,采樣頻率1 MHz,兼容EtherCAT/PROFINET協(xié)議,通過CE/FCC電磁兼容認(rèn)證,提供LabVIEW/Python開發(fā)接口。
熱銷工業(yè)型號(hào):
- CIAT-Linear L8000:晶圓光刻機(jī)曝光臺(tái)驅(qū)動(dòng)電機(jī),峰值加速度20g,動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間≤1 ms,內(nèi)置溫度補(bǔ)償模塊,通過SEMI S2標(biāo)準(zhǔn),防護(hù)等級(jí)IP67。
- CIAT-Stage NS600:航天器光學(xué)組件校準(zhǔn)平臺(tái),三維定位精度±100 nm,支持主動(dòng)隔振(降噪≥60 dB),通過NASA Goddard振動(dòng)測試,配備真空兼容密封結(jié)構(gòu)。
- CIAT-Controller C400:多軸納米級(jí)運(yùn)動(dòng)控制器,支持16軸同步控制,插補(bǔ)誤差≤0.1 μm,配備硬件級(jí)緊急制動(dòng)功能,通過ISO 13849安全標(biāo)準(zhǔn)。
技術(shù)優(yōu)勢:
- 超低慣性設(shè)計(jì):直線電機(jī)采用輕量化磁路結(jié)構(gòu),慣性降低40%,加速性能提升30%。
- 多物理場耦合補(bǔ)償:定位平臺(tái)內(nèi)置熱-機(jī)械耦合模型,環(huán)境溫度變化補(bǔ)償精度達(dá)±0.01 μm。
- 協(xié)議無縫集成:控制器支持OPC UA與MTConnect工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)協(xié)議,可對接MES/SCADA系統(tǒng)。
應(yīng)用領(lǐng)域:
- 半導(dǎo)體制造:晶圓缺陷檢測設(shè)備定位、光刻機(jī)曝光臺(tái)驅(qū)動(dòng)。
- 航空航天:衛(wèi)星光學(xué)鏡頭校準(zhǔn)、火箭發(fā)動(dòng)機(jī)噴嘴精密裝配。
- 精密檢測:納米級(jí)3D形貌測量儀、X射線衍射儀樣品臺(tái)。
CIAT通過德普瑞商城提供全球化供應(yīng)鏈服務(wù),支持在線技術(shù)選型、定制化傳動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)及48小時(shí)緊急交付,確保工業(yè)客戶在高精度運(yùn)動(dòng)控制場景中快速部署納米級(jí)定位與智能傳動(dòng)解決方案。